피복하고자하는 금속을 증발하여 이온화시켜 피복한다.

타깃(Target)재료의 원자를 스퍼터(Sputter)시켜 마주보는 기판위에 피복한다.

금속용액에 기판을 침지하여 화학적으로 치환 도금한 것이다.

가열된 소재에 피복하고자 하는 피막성분을 포함한 원료의 혼합가스를 접촉시켜 증착한다.