직류 스퍼터링에 관한 설명으로 틀린 것은?
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직류 스퍼터링에 관한 설명으로 틀린 것은?
조성이 복잡한 것도 적용이 가능하다.
전류량과 생성피막의 두께가 정비례한다.
타깃(Target)은 금속과 비금속(세라믹 등) 모두 가능하다.
고에너지로 기판에 들어오게 되므로 밀착강도가 높다.
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