반응인자는 기지의 농도값과 측정값간의 평균차이를 상대적인 퍼센트로 표현하는 것으로서, 동일한 기지 농도의 측정값들의 일치정도이다.

응답시간은 VOC가 시료채취장치로 들어가 농도변화를 일으키기 시작하여 기기계기판의 최종값이 90%를 나타내는데 걸리는 시간이다.

검출불가능 누출농도는 누출원에서 VOC가 대기중으로 누출되지 않는다고 판단되는 농도로서 국지적 VOC배경 농도의 최고 농도값이다.

교정가스는 기지농도로 기기 표시치를 교정하는데 사용되는 VOC화합물로서 일반적으로 누출농도와 유사한 농도의 대조화합물이다.