광파 간섭현상을 이용하여 평면도를 측정하는 기기는?

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광파 간섭현상을 이용하여 평면도를 측정하는 기기는?

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광파 간섭현상을 이용하여 평면도를 측정하는 기기는?

옵티컬 플랫(optical flat)

공구 현미경

오토콜리메이터(autocollimator)

NF식 표면 거칠기 측정기

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