광파 간섭현상을 이용하여 평면도를 측정하는 기기는?
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광파 간섭현상을 이용하여 평면도를 측정하는 기기는?
옵티컬 플랫(optical flat)
공구 현미경
오토콜리메이터(autocollimator)
NF식 표면 거칠기 측정기
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