분광계는 검출 및 측정방법에 따라 다색화분광기 또는 단색화장치 모두 사용가능해야 하며, 스펙트럼의 띠 통과는 0.05nm 미만이어야 한다.

분무기는 일반적인 시료의 경우 바빙톤 분무기를 사용하며, 점성이 있는 시료나 입자상 물질이 존재할 경우 동심축 분무기를 사용한다.

라디오고주파 발생기는 출력범위 750∼1200W 이상의 것을 사용한다.

순도 99.99% 이상 고순도 가스상 또는 액체 아르곤을 사용한다.