고주파출력은 수용액시료의 경우 0.8-1.4kw, 유기용매시료의 경우 1.5-2.5kw로 설정한다.

가스유량은 일반적으로 냉각가스 10-18L/min, 보조가스 5-10L/min 범위이다.

분석선(파장)의 설정은 일반적으로 가장 감도가 높은 파장을 설정한다.

플라스마 발광부 관측 높이는 유도코일 상단으로부터 15-18mm범위에 측정하는 것이 보통이다.