시료주입부 : 분무기 및 챔버로 이루어져 있음

고주파 전원부 : 고주파 전원은 수정발전식의 27.13MHz로 10~30kW의 출력임

분광부 및 측광부 : 분광기는 기능에 따라 단색화분광기, 다색화 분광기로 구분됨

분광부 및 측광부 : 플라스마광원으로부터 발광하는 스펙트럼선을 선택적으로 분리하기 위해서는 분해능이 우수한 회절격자가 많이 사용됨