시료주입부 : 시료용액을 흡입하여 에어로졸 상태로 플라스마에 도입시키는 부분이다.

고주파 전원부 : 유기용매의 경우 보통 1~1.5kw가 사용된다.

분광부 및 측광부 : 플라스마광원으로부터 발광하는 스펙트럼선을 선택적으로 분리하기 위해서 분해성능이 우수한 회절격자가 많이 사용된다.

분광부 및 측광부 : 분광기는 그 기능에 따라 단색화 분광기와 다색화분광기로 구분된다.