고주파 출력 : 수용액 시료의 경우 0.8~1.4Kw, 유기용매 시료의 경우 1.5~2.5KW로 설정한다.

가스의 유량 : 일반적으로 냉각가스 0.2

플라스마 발광부 관측 높이 : 유도코일 상단으로부터 15~18mm의 범위에서 측정하는 것이 보통이나 알칼리 원소의 경우 20~25mm의 범위에서 측정한다.

분석선의 설정 : 일반적으로 가장 감도가 높은 파장을 설정한다.