에어졸 상태로 분무되는 시료는 가장 안쪽의 관을 통하여 도너츠모양 플라스마의 가장자리로 도입된다.

장치는 시료도입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부 연산처리부 및 기록부로 구성되어 있다.

보통시료는 6,000-8,000K의 고온 플라스마에 도입되므로 거의 완전한 원자화가 이루어지게 된다.

플라스마는 그 자체가 광원으로도 이용되기 때문에 매우 넓은 범위에서의 시료를 측정할 수 있다.