ICP분석장치는 중심에 고온, 고전자 밀도 영역이 형성되어 도넛 형태가 된다.

플라즈마의 온도는 최고 15,000KDP 이르며 보통 시료는 6,000~8,000K의 고온에 주입된다.

ICP는 알곤 가스를 플라즈마 가스로 사용하여 수정발진식 고주파발생기로부터 발생된 주파수 27.13MHZ 영역에서 유도코일에 의하여 플라즈마를 발생시킨다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도범위에서 시료를 측정할 수 있다.