ICP는 분석장치에서 에어로졸 상태로 분무된 시료는 가장 안쪽의 관을 통하여 도너츠 모양의 플라즈마의 중심부에 도달한다.

플라즈마의 온도는 최고 15,000K의 고온에 도달한다.

ICP는 아르곤 가스를 플라즈마 가스로 사용하여 수정발전식 고주파발생기로부터 발샌된 주파수 27.13MHz영역에서 유도코일에 의하여 플라즈마를 발생시킨다.

플라즈마는 그 자체과 광원으로 이용되기 때문에 매우 좁은 농도범위의 시료를 측정하는 데 주로 활용된다.