운반기체는 부피백분율 99.999 %이상의 헬륨을 사용한다.

질량분석기는 자기장형, 사중극자형 및 이온트랩형 등의 성능을 가진 것은 사용한다.

이온화방식은 양성자전해법을 사용하며 이온화에너지는 80 ~ 100 eV을 사용한다.

정량분석에는 선택이온검출법을 이용하는 것이 바람직하다.