마이크로파 영역에서 극성분자나 이온이 쌍극자 모멘트와 이온전도를 일으켜 온도가 상승하는 원리를 이용한 방법이다.

마이크로파를 발생 시키려면 마그네트론을 주로 쓰며 전송에는 입체회로를 주로 쓴다.

사용되는 Oven 내부는 내산성을 위해 플루오로카본 등으로 코팅되어 있어야 하고 실험자의 보호를 위하여 내부공기를 2.8m³/min 이상으로 환기를 시켜야한다.

밀폐형 용기는 마이크로파를 흡수하지 않는 재질로 200m³의 고온과 120~200psi의 압력에서 견딜 수 있어야하며 주로 PE(Poly ethylene)를 사용한다.