플라즈마가스로는 순도 99.99%(V/V%)이상의 압축아르곤가스가 사용된다.

플라즈마 상태에서 원자가 여기상태로 올라갈 때 방출하는 발광선으로 정량분석을 수행한다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도 범위에서 시료를 측정할 수 있다.

많은 원소를 동시에 분석이 가능하다.