대부분의 간섭 물질은 산 분해에 의해 제거된다.

장비가 허용된다면 가능한 파장의 간섭을 알기위해 전파장 분석을 수행한다.

플라스마 가스는 액화 또는 압축헬륨으로 순도는 99.99% 이상인 것을 사용한다.

분석장치는 시료도입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성되어 있다.