ICP 발광광도 분석장치는 시료도입부, 고주파전원부, 시료원자화부, 연산처리부, 기록부로 구성되어 있다.

ICP 발광분석장치는 직선광선이 들어오지 않는 곳에 설치한다.

ICP 발광 분석장치는 실온 15~27℃, 상대습도 70% 이하를 일정하게 유지할 수 있는 곳에 설치한다.

고주파 전원은 수용액 시료의 경우 1~1.5kw, 유기용매의 경우 2kw 정도에서 사용된다.