광원으로는 원자흡광 스펙트럼선보다 선폭이 좁고 휘도가 낮은 스택트럼을 방사하는 중공음극 램프가 많이 사용된다.

단광속형과 복광속형의 분석장치가 있다.

여러원소를 동시에 분석할 때는 멀티채널형의 장치가 이용된다.

분석장치는 광원부, 시료원자화부, 파장선택부(분광부), 측광부로 구성된다.