유도결합플라즈마(ICP) 발광광도 분석 장치는 순도 높은 헬륨가스를 플라즈마 가스로 사용한다.

유도결합플라즈마(ICP) 발광광도 분석 장치는 시료주입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부, 기록부로 구성되어 있다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도 범위에서 시료를 측정할 수 있다.

실온이 15~27℃, 상대습도 70% 이하를 일정하게 유지할 수 있는 곳에 설치한다.