원자흡광분석용 광원은 원자흡광 스펙트럼선의 선폭보다 좁은 선폭을 갖고 취도가 높은 스펙트럼을 방사하는 중공음극램프가 많이 사용된다.

중공음극램프를 동작시키는 방식에는 단광속형방식과 복광속형방식이 있다.

시료를 적당한 방법으로 해리시켜 중성원자로 증기화하여 생긴 바닥상태의 원자가 이 원자 증기층을 투과하는 특유 파장의 빛을 흡수하는 현상을 이용한다.

분석장치는 광원부, 시료원자와부, 파장선택부, 측광부로 구성된다.