운반기체는 부피백분율 99.999% 이상의 헬륨을 사용한다.

질량분석기는 자기장형, 사중극자형 및 이온트랩형 등의 성능을 가진 것을 사용한다.

질량분석기의 이온화방식은 전자충격법(EI)을 사용하며 이온화에너지는 35∼70 eV을 사용한다.

정성분석에는 메트릭스 검출법을 이용하는 것이 바람직하다.