마이크로파는 전자파 에너지의 일종으로서 빛의 속도로 이동하는 교류와 자기장으로 구성되어 있다.

시료의 분해에 이용되는 대부분의 마이크로파 장치는 12.2cm 파장의 2,450MHz의 주파수를 갖는다.

가열속도가 빠르고 재현성이 좋으며 유기물이 소량 함유된 시료에 주로 이용된다.

마이크로파 영역에서 극성분자나 이온이 쌍극자모멘트(Dipole moment)와 이온전도(Ionic conductance)를 일으켜 온도가 상승하는 원리를 이용하여 시료를 가열하는 방법이다.