고주파출력: 수용액시료의 경우 800 - 1400kw로 설정

가스의 유량: 냉각가스는 10 - 18 ℓ /min, 보조가스는 0 - 2 ℓ /min 그리고 운반가스는 0.5 - 2 ℓ /min 범위에서 설정된다.

플라즈마 발광부 관측 높이: 유도코일 상단으로부터 15 - 18mm의 범위에서 측정하는 것이 보통이다.

분석선(파장)의 설정: 가장 감도가 높은 파장을 설정한다.