시료도입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성된다.

토치(Torch)는 3중으로 된 석영관이 이용된다.

플라즈마의 온도는 최고 25,000K에 이르며, 이온도에서는 분석에 장애가 되는 많은 간섭이 배제된다.

토치 위에 형성된 알곤플라즈마는 중심축보다 약간 바깥쪽(2~4mm)에서 전자밀도가 가장 높다.