6000~8000℃에서 여기된 원자가 바닥 상태에서 방출하는 발광선 및 발광광도를 측정하여 정성 및 정량 분석하는 방법이다.

아르곤가스를 플라즈마 가스로 사용하여 수정발진식 고주파발생기로부터 27.13MHz 영역에서 유도코일에 의하여 플라즈마를 발생시킨다.

토치는 3중으로 된 석영관이 이용되며 제일 안쪽이 운반가스, 중간이 보조가스 그리고 제일 바깥쪽이 냉각가스과 도입된다.

ICP구조는 중심에 저온, 저전자밀도의 영역이 도너츠 형태로 형성된다.