마이크로파영역에서 극성분자나 이온이 쌍극자 모멘트와 이온전도를 일으켜 온도가 상승하는 원리를 이용하여 시료를 가열하는 방법이다.

마이크로파는 전자파 에너지의 일종으로서 빛의 속도(약 300.000km/s)로 이동하는 교류와 자기장으로 구성 되어 있다.

오븐내부는 플루오르카본 등으로 코딩되고 내산성이어야 하며, 오븐 내부의 공기를 0.5m³/min이상으로 환기해야한다.

시료분해용 용기는 균일한 가열을 위해 회전판을 사용 할 경우 회전 속도는 3rpm인 것이 좋다.