알곤가스를 플라즈마 가스로 사용한다.

시료주입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성된다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도범위에서 시료를 측정할 수 있다.

광원부는 연속주사형 단원소측정장치와 다원소동시측정 장치로 구분된다.