시료 중 트리클로로에틸렌 및 테트라클로로에틸렌을 헥산으로 추출하여 기체크로마토그래피법으로 정량한다.

휘발성 저급염소화 탄화수소류는 휘발성이 높기 때문에 시료를 채취할 때 유리제 용기에 상부공간이 없도록 채취하여야 한다.

트리클로로에틸렌의 정량한계는 0.008 mg/L, 테트라클로로에틸렌의 정량한계는 0.002 mg 이다.

FID(수소염이온화검출기) 또는 HECD(전해전도검출기)를 주로 사용한다.