마이크로파 영역에서 극성분자나 이온이 쌍극자모엔트(Diploe moment)와 이온전도(Ionic conductance)를 일으켜 온도가 상승하는 원리를 이용하여 시로를 가열하는 방법이다.

시료의 분해에 이용되는 대부분의 마이크로파 장치는 2.2cm 파장역 100~150Mhz 범위의 주파수를 갖는다.

마이크로파는 전자파 에너지의 일종으로서 빛의 속도로 이동하는 교류와 자기장으로 구성되어 있다.

가열속도가 빠르고 재현성이 좋으며 폐유 등 유기물이 다량 함유된 시료의 전처리에 이용된다.