마이크로파는 전자파 에너지의 일종으로서 빛의 속도로 이동하는 교류와 자기장(또는 파장)으로 구성되어 있고, 마이크로파 주파수는 300∼300,000MHZ이다.

시료의 분해에 이용되는 대부분의 마이크로파 장치는 12.2cm파장의 2,450MHZ의 마이크로파주파수를 갖는다

시료분해용 용기는 균일한 가열을 위해 회전판 위에 놓아 사용하는 것이 좋으며, 회전판을 사용할 경우 회전속도는 7rpm인 것이 좋다.

시료를 전처리하기 전에 장치의 마이크로파힘을 점검하여야 하는데, 가열되는 시료가 1∼5개인 경우에는 마이크로파 최고힘의 75%를 사용하고, 6∼12개인 경우에는 100%를 사용하며 가열시간은 4분으로 한다