ICP는 시료를 고주파유도코일에 의하여 형성된 알곤플라스마에 도입하여 4000-6000K에서 기저된 원자가 여기상태로 이동할 때 방출하는 발광선 및 발광광도를 측정하여 원소의 정성 및 정량분석에 이용하는 방법이다.

ICP는 알곤가스를 플라스마 가스로 사용하여 수정발진식 고주파 발생기로부터 발생된 27.13MHZ 주파수영역에서 유도코일에 의하여 플라스마를 발생시킨다.

ICP의 구조는 중심에 저온, 저전자 밀도의 영역이 형성되어 도너츠 형태로 되는데 이 도너츠 모양의 구조가 ICP의 특징이다.

플라스마의 온도는 최고 15,000K까지 이른다.