시료 중의 원소가 여기되는데 필요한 온도는 6000~8000K 이다.

ICP 분석장치에서 에어로졸 상태로 분무된 시료는 가장 안쪽의 관을 통하여 도너츠 모양의 플라즈마 중심부에 도달한다.

시료측정에 따른 정량분석은 검량선법, 내부표준법, 표준첨가법을 사용한다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 좁은 농도범위의 시료를 측정하는 데 주로 사용된다.