플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 넓은 농도 범위에서 시료 측정이 어렵다.

ICP 발광광도분석장치는 시료주입부, 고주파 전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성된다.

ICP의 플라즈마 온도는 최고 5000K 까지 이르며 보통 3000~4000K의 고온을 유지한다.

ICP는 중심에 고온, 고전자 밀도의 영역이 형성되는 도너츠 모양의 구조를 이룬다.