ICP는 알곤가스를 플라즈마로 사용한다.

수정발전식 고주파 발생기로부터 발생된 주파수 27.13MHz 영역에서 유도코일에 의하여 플라즈마를 발생시킨다.

ICP의 토치는 3중으로 된 석영관을 이용된다.

ICP는 중심에 고온, 고전자 밀도의 영역이 형성되는 도너츠 모양의 구조를 이룬다.