시료주입부는 시료주입방법에 따라 연속 주사형 단원소방식과 동시주사형 다원소 방식으로 구분된다.

ICP의 토치(Torch)는 3중으로 된 석영관이 이용된다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도 범위에서 시료를 측정할 수 있다.

현재 널리 사용하고 있는 고주파 전원은 수정발전식의 27.13㎒로 1~3㎾의 출력이다.