산과 함께 시료를 용기에 넣어 마이크로파를 가하면 강산에 의해 시료가 산화된다.

극성성분들의 빠른 진동과 충돌에 의하여 시료의 분자 결합이 절단되어 시료가 이온상태의 수용액으로 분해된다.

유기물이 소량 함유된 시료의 전처리에 자주 이용된다.

이 장치는 가열속도가 빠르고 재현성이 좋다.