질소가스를 플라즈마 가스로 사용한다.

분석장치는 시료도입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성된다.

분광부는 검출 및 측정에 따라 연속주사형 단원소측정장치와 다원소등시측정장치로 구분

ICP의 토치는 3중으로 된 석영관이 이용된다.