아르곤을 플라즈마 가스로 이용한다.

동시에 다성분의 분석은 불가능하다.

분석 성분의 농도는 방출되는 광선의 세기에 비례한다.

여기된 원자가 바닥상태로 이동할 때 방출하는 광선을 이용하여 측정한다.