시료를 고주파유도코일에 의해 형성된 아르곤 플라즈마에 도입하여 분석한다.

중금속 원자의 바닥상태(ground state)에서 여기상태(excite state)로 이동할 때 흡수되는 발광선 및 발광강도를 측정하여 정성 및 정량분석한다.

플라즈마 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도범위에서 측정이 가능하다.

ICP의 구조는 중심에 저온, 저전자 밀도의 영역이 형성되어 도너츠 형태로 되는 것이 특징이다.