4,000∼6,000K의 고온에서 시료를 여기하므로 중질유 등과 같이 휘발성이 낮은 물질의 측정에 적합하다.

플라즈마의 최고온도는 15,000K 까지 이른다.

플라즈마는 그 자체가 광원으로 이용되기 때문에 매우 넓은 농도범위에서 시료를 측정할 수 있다.

ICP의 토오치는 3중으로 된 석영관이 이용된다.