질소가스를 플라즈마 가스롤 사용한다.

분석장치는 시료도입부, 고주파전원부, 광원부, 분광부, 연산처리부 및 기록부로 구성된다.

분석장치 중 시료도입부는 분무기 및 챔버로 이루어져 있다.

ICP의 토오치는 3중으로 된 석영관이 이용된다.