하전입자를 가속시켜 방사선을 발생하는 장치로서 가속된 하전입자 및 이로 인해 부수적으로 발생되는 모든 방사선의 최대 에너지가 5keV 이하인 것

하전입자를 가속시켜 방사선을 발생하는 장치로서 가속된 하전입자 및 이로 인해 부수적으로 발생되는 모든 방사선의 최대 에너지가 10keV 이하인 것

하전입자를 가속시켜 방사선을 발생하는 장치로서 가속된 하전입자 및 이로 인해 부수적으로 발생되는 모든 방사선의 최대 에너지가 50keV 이하인 것

하전입자를 가속시켜 방사선을 발생하는 장치로서 가속된 하전입자 및 이로 인해 부수적으로 발생되는 모든 방사선의 최대 에너지가 100keV 이하인 것