X선 발생장치의 필라멘트는 크기가 작을수록 좋다.

냉각제로 쓰이는 물질은 유전성이 낮은 물질이 사용된다..

중심축으로부터 이탈된 X선빔을 제거하고, 전기적으로 차폐하는 목적으로 후드를 사용한다.

전자빔에 대한 표적의 방향은 초점의 크기와 모양에 영향을 받으며, 최대강도는 20°정도에서 나타난다.