기계적 에너지로 진동을 하는 공구와 가공물 사이에 연삭입자와 가공액을 주입하고서 작은 압력으로 공구에 진동을 주어 가공하는 방식으로, 유리, 세라믹, 다이아몬드, 수정 등 취성이 큰 재료를 가공할 때 사용하는 특수가공법은?