결함내에 세척액을 침투시켜 결함속의 오염을 용해시키기 위해서 수 초간 방치한다.

검사체의 오염이 적기 때문에 침투제에서 오염을 용해시킨다.

에어졸 타입의 세척액의 노즐을 검사체 표면으로부터 될 수 있는 한 분리해서 넓은 범위를 일단 세척한다.

다음 공정의 조작을 용이하게 하기 위해서 세척액의 사용량을 될 수 있는 한 적게 한다.