다음의 현미경 중 및 대신에 파장이 짧은 전자선을 시료에 투과시켜 전자 렌즈로 상을 형성시키며, 시료 내부에 생긴 전위와 같은 결정의 결함이나 원자 배열에 대한 정보를 얻을 수 있는 것은?