이온 플레이딩(ion plating)법의 설명으로 틀린 것은?
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이온 플레이딩(ion plating)법의 설명으로 틀린 것은?
진공 용기 내에서 금속을 증발시키고 글로우 방전에 의거 이온화를 촉진한다.
코팅 온도가 높으므로 기판을 변형시킨다.
피막과 기판과의 밀착성 및 피막의 치밀성이 양호하다.
TiN, TiC, CrN, CrC, Al2O3, SiO2 등의 특이한 화합물 층을 얻을 수 있다.
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