초음파를 이용한 전기적 에너지를 기계적인 에너지로 변환시켜 정밀 가공하는 방법이다.

공구의 재료는 황동, 연강, 모넬메탈 등이 쓰인다.

광학 렌즈, 세라믹, 수정, 다이아몬드 등 취성이 큰 재료는 가공이 어렵다.

적당한 공구와 가공조건의 선택으로 눈금, 무늬, 문자, 구멍, 절단 등의 가공이 가능하다.