우선 의사지시모양인지 결함지시모양인지 구별해야 한다.

관찰은 가급적 관찰면 정면에서 관찰한다.

관찰하는 광선(자외선 및 가시광선)은 관찰면에 대해 반사광이 있는 위치와 각도에서 시행한다.

결함깊이를 측정하고자할 때는 전기저항법 등의 원리를 응용한 다른 방법을 택한다.